Regulácia prietoku v MOCVD reaktoroch
MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition) je technológia, ktorá sa používa na výrobu polovodičových vrstiev, ako sú LED svetlá, solárne články alebo elektronické súčiastky. Reaktory MOCVD sú zariadenia, ktoré sa používajú na vytváranie týchto vrstiev chemickou reakciou plynov pri vysokých teplotách.
Pre správne fungovanie reaktora MOCVD je dôležité riadenie prietoku. Funguje tak, že organokovová zlúčenina sa v odparovacej jednotke prevedie do plynného stavu a zmieša sa s nosným plynom, čím sa zabezpečí jej nanesenie na kremíkovú doštičku. Tam sa zlúčenina rozkladá a zanecháva tenkú kryštalickú vrstvu. Pri procese MOCVD sa používa špeciálny rad zariadení vyvinutých špeciálne pre trh s polovodičmi, ktoré sa usadzujú v čistých priestoroch s vysokokvalitnými povrchovo zmáčanými časťami.
Bronkhorst špecialista
Súvisiace produkty
Článek súvisiace s aplikáciou
Dávkovanie plynu do bioreaktorov pomocou hmotnostných prietokomerov Bronkhorst
Bioreaktory vytvárajú „umelú liaheň“ bakterií. Ide o zariadenie, kde je potrebné regulovať teplotu, dávkovať plyny a sledovať a sledovať hodnotu pH. Základ pre vedenie kultivácie baktérií v bioreaktore je veľmi presné dávkovanie plynov, ako sú kyslík a oxid uhličitý.…číst dál