D-Ex Instruments

  • Uzavírací ventily
  • Ventily N-Series
  • Ventily Genesis
Nor-Cal products

Vakuové uzavírací ventily


Společnost Nor-Cal Products, Inc. je již více než 50 let předním dodavatelem vysoce kvalitních vakuových uzavíracích ventilů. Tyto ventily splňují všechny požadavky i pro použití v těch nejnáročnějších aplikacích pro polovodičové zpracování v UHV. Tyto ventily jsou dle použití nabízeny v několika konstrukčních variantách. Na objednání je i možnost dodání speciálních provedení ventilů.

Výběr z nabízených vakuových uzavíracích ventilů:

Nožové šoupátkové ventily

 

  • ovládané manuálně nebo pneumaticky
  • vhodné pro polovodičový průmysl
  • pro aplikace náročné na místo (ultra-slim profil)
  • vybaveny unikátním zařízením tlumící vibrace při otevírání/zavírání
  • možnost přídavného vyhřívání
  • pracovní podmínky -20 až +150 °C, 1000 až 10-10 mbar
  • životnost 100 000 cyklů

Kulové kohouty

 

  • ovládané manuálně nebo pneumaticky
  • pro "izolaci" vakuové pumpy nebo komory od odlučovače
  • k dispozici bez přírub nebo s přírubou NW
  • robustní design, low-endová varianta uzavíracího ventilu
  • teflonové těsnění
  • možnost přídavného vyhřívání
  • pracovní podmínky +20 až +150 °C, 1000 až 10-4 mbar
  • životnost 20 000 cyklů (manuální)

Kyvadlové ventily

 

  • ovládané manuálně nebo pneumaticky
  • k dispozici pro příruby norem ISO a JIS
  • standardní těsnění z Vitonu (Kalrez, Chemraz, Perlast a další na přání)
  • pracovní podmínky -20 až +150 °C, 1000 až 10-9 mbar
  • možnost přídavného vyhřívání do 150 °C
  • životnost 200 000 cyklů



Klapky ("Butterfly" ventily)

 

  • ovládané manuálně
  • k dispozici pro příruby norem NW a CF
  • low-endová varianta k uzavíracím ventilům s vlnovci
  • standardní těsnění z Vitonu
  • pracovní podmínky -20 až +150 °C, 1000 až 10-9 mbar
  • životnost 30 000 cyklů




 

Škrtící "Leak" ventily

 

  • ovládané manuálně
  • pro přepouštění plynů
  • velmi jemná regulace
  • připojení standardně vstup 1.33 CF, výstup 2.75 CF
  • materiál těsnění z mědi
  • pracovní podmínky -250 až 450 °C, 1000 až 10-11 mbar
  • životnost 300 cyklů

 

Vypékatelné celokovové ventily

 

  • ovládané manuálně
  • použití pro kryogenní UHV aplikace v čistých prostorech
  • ve variantě s přírubami 1.33 CF a 2.75 CF
  • materiál těsnění z mědi
  • pracovní podmínky -250 až 450 °C, 1000 až 10-11 mbar
  • možnost přídavného vyhřívání
  • životnost 10 000 cyklů


"Poppet" ventily

 

  • ovládané manuálně nebo pneumaticky
  • k dispozici pro příruby norem NW, CF, ISO a ASA
  • princip uzavíraní ventilů vlnovcem
  • u pneumaticky ovládaných ventilů lze dodat i s mikrospínačem
  • pracovní podmínky -20 až +150 °C, 1000 až 10-9 mbar
  • možnost přídavného vyhřívání
  • životnost 250 000 cyklů
Nor-Cal products

Ventily N-Series


Novinkou společnosti Nor-Cal Products, Inc. jsou ventily N-série vyznačující se vysokou životností cyklů i při těch nejnáročnějších aplikacích. Všechny ventily N-série jsou pneumaticky ovládané. Podle přání zákazníka mohou být doplněny i o snímače polohy.

Vlastnosti:

  • kompaktnější design proti "Poppet" ventilům
  • ovládané pneumaticky
  • k dispozici pro příruby norem NW a CF a bez přírub
  • tělo z chromniklové nerezové oceli 304
  • princip uzavírání ventilů vlnovcem
  • svařovaný vlnovec z oceli AM-350
  • montážní otvory pro snímače polohy stavu
  • servisní interval > 3.000.000 cyklů
  • dlouhá životnost svařovaných vlnovců
  • opravné výměnné sady pro všechny nabízené velikosti ventilů
  • pracovní teplota -20 až +150 °C,
  • pracovní tlak 1000 až 10-9 mbar
Nor-Cal products

Ventily Genesis


Ventil Genesis

Společnost Nor-Cal Products, Inc. poskytuje díky svému patentovanému stavebnicovému ventilovému systému Genesis možnost konstruktérům zařízení tvorbu jedinečných sestav. Malé rozměry a nízká hmotnost umožňují, aby tyto sestavy byly umístěny tam, kde jsou potřeba. Ventily se systémem Genesis jsou dostupné také s možností měkkého startu.

Vlastnosti:

  • životnost přes milion cyklů
  • k dispozici s přírubou NW
  • princip uzavírání ventilů vlnovcem
  • velká modularita tělesa ventilů
  • malé rozměry, flexibilita
  • možnost měkkého startu (Soft start)
  • kompaktní design
  • pracovní teplota -20 až +150 °C
  • pracovní tlak 1000 až 10-9 mbar

Ventil Genesis - schema

Hliníkové tělo ventilu Genesis

Svařovaný vlnovec