D-Ex Instruments

  • Monitory
  • Oscilátory
  • Senzory a průchodky
  • Příslušenství
Nor-Cal products

 Monitory tloušťky depozice vrstev


Společnost Nor-Cal Product, Inc. nabízí kompaktní systém pro měření tloušťky depozice vrstev. Tento systém je vhodný zejména pro polovodičový a optický průmysl. Piezoelektrickýcm principem lze měřit vrstvy od 0,1 nm, zobrazení naměřených hodnot je prostřednictvím jednoduchého monitoru umožňující jejich výstup na PC.

Vlastnosti:

  • kompaktní rozměry (212,85 mm x 88,9 mm x 196,85 mm)
  • měření piezoelektrickým principem
  • volba dvou nebo šesti vstupů pro senzory
  • alfanumerický LED displej
  • konektor RS 232 pro propojení s PC
  • podpora MS Windows
  • export dat do tabulkového programu
  • pro frekvence 6.0 až 4.0 MHz (rozlišení 0,1 Hz)
  • měření tlouštěk od 0,1 nm
Nor-Cal products

 Oscilátory


Vlastnosti:

  • Pro úpravu signálu z čidla k monitoru
  • Připojení BNC konektory
  • Měření v rozsahu teplot 10 až 40 °C
  • Pro frekvence 6.0 až 4.0 MHz
Nor-Cal products

 Krystalové senzory a průchodky


kabely

Krystalové průchodky

  • vakuové spojení mezi krystalovým snímačem a oscilátorem
  • materiál korozivzdorná ocel 304
  • ve variantě pro CF a NW příruby
  • připojení vstup Microdot, výstup BNC konektor
  • pracovní podmínky:
    • teplota do +150 °C
    • tlak do 10-9 mbar (HV)
kabely

Krystalové senzory

  • ke snímání tloušťky depozice vrstev
    • jednoduché krystalové senzory pro krátké běhy snímání
    • duální krystalové senzory pro delší běhy snímání
  • možnost jejich chlazení kapalným médiem
  • krystal 6 MHz, ze zlaté nebo hliníkové slitiny
  • tělo z korozivzdorné oceli 304
  • pracovní podmínky:
    • tlak až do 10-9 mbar (HV)
    • vypékatelné provedení až do teplot 300 °C
Nor-Cal products

 Náhradní senzory a příslušenství


kabely
  • propojovací kabely
  • konektorové redukce
  • náhradní senzory